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发布日期:2021年06月17日
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1、单晶炉
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多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P

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多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P
主要功能 NXRJ-MC500 B/P 参数
产品规格 500Kg装料 840mmX840mmX304mm
机身重量 主炉体 约5500Kg
操作箱 约50Kg
控制箱 约400Kg
电源箱 约1800Kg
外形尺寸   4800mmX3500mmX5100mm
腔体 内径 1870mm
材质 内:SUS316L 厚16mm
外:SUS304L 厚8mm
高度 上腔体:1580mm
下腔体:780mm
炉盖厚:68mm
3组电极中心距 900mm
观察窗 测温及观察:1处
冷却水流路分割 螺旋形构造
冷却水排水口 炉体各部件最下部
保温体      升降机构 升降驱动方式 自动/半自动
升降行程 ≤380mm
限位开关 2处(上限、下限)
下炉体        升降机构升降驱动方式 半自动
升降行程≤950mm
限位开关 2处(上限、下限)
真空度 结晶的拉制环境 60KPa(工艺要求)
空的冷炉极限真空度 3Pa以下
允许泄露量 5Pa/Hr以下
真空管路 真空管道的接口尺寸 ISO 100mm
控制阀 自动/手动
炉压控制精度 +0.15KPa
Ar气管路 最大流量 200L/min(用MFC控制Ar)
输入压力 2.7kg/cm2以上
电气控制系统 加热器电源 输入电压:AC三相380V(50/60Hz)
加热器功率:200KW
输出控制方式:功率控制/温度控制
功率控制精度:额定直流输出±2%内
冷却水流量:不小于20L/min
温度测定 B型热电偶 重复精度:±0.5ºC
测定范围:0~2000ºC
红外测温仪 重复精度:0.1%
测定范围:600~2000ºC
控制方式 控制器构成 工业级平板电脑(带触摸屏)
三菱PLC/基恩士PLC
工艺控制方式 装料:手动
抽真空:手动/自动
加热:手动自动
溶解、稳定:手动/自动
凝固、结晶:手动/自动
退火:手动/自动
冷却:手动/自动
取出:手动
冷却水系统 冷却水源输出输入口 Φ50mm(2英寸)
流量 300L/min~350L/min
水压 3Kg/cm2~3.5kg/cm2
进出水压力差 2Kg/cm2以上
进水温度 20~30ºC